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*Compound semiconductor fabrication, Power electronics module, Epitaxy process, Siliconcarbide ÇÕ¼ºÀÀ¿ë, Insulated gate bipolar transistor °æ·Â 2³âÀÌ»ó
*Àç·á°øÇÐ, ¹«±âÈÇÐ, ¹ÝµµÃ¼°øÇÐ, È°øÀü°ø ¼®»çÀÌ»ó *¿µ¾î¾÷¹«°¡´É |
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